包括可燃 不得进行安装 2 无合格文件者 无损探伤等有效检验合格文件 材料应已进行现场检查 特种设施的承压设备 相关的土建工程应已验收合格 洁净厂房内的“特种设施”的种类较多 12.1.1 12.1.6 12.1 应按工程设计文件和相关设备出厂技术说明要求进行安装 特种设施安装 不符合规定者不得进行安装 对气密性 工艺生产用水设施 渗漏性控制严格的特种设施的设备 分类 12.1.3 各种设备及其附件 并做好记录 一般规定 并应经确认不影响使用功能后再进行安装 液体 附件等 管路属于压力容器 12.1.2 有爆炸危险或有毒的气体 检验 均需要求对其设备 为此这几条规定了各类特种设施在安装前应具备的条件 很多设备 分系统进行安装质量验收 12.1.1 1 附件应具有有效检验的合格文件 由于洁净厂房内的“特种设施”种类较多 渗漏性等进行严格控制 特种设施安装 12 有机溶剂等相关的设备 化学品供应设施的安装施工质量验收 本章适用于洁净厂房内的高纯气体供应设施 并均应按规定进行检查 液体 腐蚀等气体 分系统进行施工安装和质量验收 应在安装就位或系统管道安装完成后进行可靠接地 管路的气密性 本条对洁净厂房中的“特种设施”的范围作了规定 宜与相关系统的试运转结合进行 窒息 许多设施还有一定的压力和高纯度要求 有毒 12.1.4 并应符合工程设计和设备技术要求 12.1.5 一般规定 发现异常时 并推荐与相关供应系统试运转结合进行 安装前应检查密封状况 有防静电接地要求的设施 同时应做好进场记录 3 特种设施的安装施工应符合下列规定 12.1.6 附件应具有压力试验 12.1.2～12.1.5 检验和验收 所以规定应分类 并应办理交接手续 纯水供应设施 有机溶剂等 12.1 压力管道 为确保气体纯度和避免渗漏污染 12.1.7 应与供货商共同检查 12