应从过滤器的上风侧引入测试气溶胶 C.4 3 不得大于出厂合格透过率的3倍 显示有等于或大于限值的泄漏时 时 高效空气过滤器的泄漏值应以不超过上风向测试气溶胶浓度的10 3 被测试过滤器应在额定风速的80％～120％运行 光度计法宜用于带小型空气处理系统的洁净室或安装有气溶胶注入点的管路系统 高效空气过滤器检漏的限值 2 ～100mg／m 可降低检漏的灵敏度 3 并应确认其送风的均匀性 在过滤器检漏前应确认气溶胶的浓度和均匀性 C.4.3 应采用粒子计数器法进行高效空气过滤器安装后的检漏 安装在管道或空气处理机内的高效空气过滤器的检漏 检漏扫描时 并应立即在其下风侧进行检测 被检测过滤器应在设计风速的70％～130％之间进行 C.4.5 已装空气过滤器的检漏 空气高效过滤器下风侧测试得到的泄漏浓度换算的透过率 不得大于该过滤器出厂合格透过率的3倍 检漏时 上风向引入的大气尘或气溶胶浓度应能满足在下风向测试得到具有统计意义的读数 C.4.1 -4 采样口距离被测部位应小于5.0cm 采用光度计法进行扫描检漏时 采用粒子计数器法时 不应允许采用可能沉积在过滤器或管道上的挥发性油光尘的测试用气溶胶 若采用3cm×3cm方形探管 所采用的测试气溶胶不应影响洁净室(区)内的产品或工艺设施 采用粒子计数器法进行扫描检漏时 采样口应距被测部位30cm～100cm 检测可采用光度计法或粒子计数器法 并应确认其送风均匀性 而浓度高于80mg／m 被测试过滤器应在额定风速的70％～130％运行 长时间测试可造成过滤器的污堵 C.4.2 被测试的过滤器的最高穿透粒径的穿透率应等于或大于0.005％ 应将探管停留在泄漏处 浓度低于20mg／m 在进行粒子计数器检漏前 并应记录实测的含尘浓度 采用光度计法时 在进行光度计法检漏前 为合格 安装在管道或空气处理机内的高效空气过滤器采用粒子计数器法检漏时 对已安装的高效空气过滤器应进行检漏 -4 时 3 ／s 在扫描过程中 应检测高效空气过滤器送风口的整个面 (0.01％) 被测试过滤器的上风向引入的气溶胶的浓度应为10mg／m 检漏扫描时 并应以0.05m／s的速度移动 可达到规定的高浓度测试气溶胶 不得超过10 测试时 在管道中应距管壁2.5cm 并应确认其送风的均匀性 C.4.4 高效空气过滤器安装后的检漏方法应采用光度计法和粒子计数器法 检漏时 过滤器外框和安装框架之间的密封处 扫描速度不得超过5cm／s 过滤器的周边 最易穿透粒径的穿透率应大于0.005％ 该项测试宜在洁净室(区)的“空态”或“静态”进行 被测试的空气过滤器最易穿透粒径的穿透率应大于或等于0.00005％ 矩形探管的最大面积扫描率不得超过15cm