应在此类设备试运转后 1 以最终校核 C.14.1 专用仪器和计算机分析系统等 2 应在结构工程施工完成后 应在洁净厂房中各种公用动力设备安装并试运转后 应进行微振控制设施的建造质量检测 应提供振动设计的本底数据 设备均已正常运转后进行精密设备仪器安装地点的环境振动测试 C.14 3 检测宜采用微振测试分析系统进行测试 微振测试 检查微振控制设施的整体建造质量 精密设备仪器的微振最终测试 建筑结构振动特性测试 确定精密设备仪器和相关设施的微振控制措施 可包括微振动传感器 微振测试应按下列规定分阶段进行 应按洁净厂房中除生产工艺设备外的所有设施 校核结构建造质量 C.14.2 并应按生产工艺要求的状态进行最终测试 按微振控制设计要求进行测试 精密设备仪器安装地点的环境振动测试 洁净厂房建设场地的环境振动测试 洁净厂房中需要微振控制的精密设备仪器或房间(区域) 4