C.15 应根据生产工艺要求确定 墙面和工作台面等的表面导静电性能的测试 图C.15.2 静电测试 宜采用高阻计进行测试 C.15.2 2个铜电极之间的距离应大于或等于900mm 3-圆柱形铜电极 质量应为2.0kg 在相关表面的导静电测试表面上采用图C.15.2所示的测试装置进行表面电阻和泄漏电阻的测量 2-被测表面 1-高阻计 表面导静电性能测试装置 4-湿滤纸垫 圆柱形铜电极的直径应为60mm 洁净室(区)内的地面 C.15.1