宜采用工作气体进行 系统应以设计压力保持1h 应以靶上未见微粒为合格 12.2.7 检验方法 泄漏性试验和纯度测试 应在管道系统按规定试验合格后才能接管 特种气体供应设施安装前应具备的条件作出了规定 安全运行的保障条件 吹扫盘的安装应符合下列规定 1 所以采用纯氮的较多 仪表检查 管路系统的试运转应包括管路吹扫 应认为纯度测试合格 高纯气体 5 应按设备的构造 12.2.2 稳定 此项试验工作可能时间较长 高纯气体 尺量 1 是确保此类设施正常 电接口应按工程设计文件要求连接 整体设备搬运时 吹扫盘的安装和管路连接的质量验收主控项目内容作出了规定 因为高纯气 为了保持洁净室(区)的环境 高纯气体 取样时间和合格标准等作出了规定 因此就位后不得进行气体接管 密封性 应按工程设计文件和产品说明书要求 一般应连续进行 按气体品种 Ⅱ 不合格时 搬入口要求等进行运输 进行泄漏量试验 介质和合格标准等的规定 3 本条对阀门箱 气密性 2 这是十分重要的环节 出口的纯度及其氧痕量 Ⅱ 物理 接线 按系统全数检查 1 特种气体系统的阀门箱 观察检查 12.2.8 但氦气检漏效果最好 试验气体为纯氮或无油干燥压缩空气时 介质和吹扫合格标准的质量验收要求作出了规定 所以条文规定在试运转阶段应进行纯度试验 1 产品说明书要求进行 仪器检查 纯度测试介质 12.2 检验方法 采用低碳不锈钢管时 管径较小时采用氦气也是一种很好的选择 12.2.1 分系统全数检查 按气体品种 纯氮 对输送可燃气体的管路系统 特种气体管道及其阀门 对输送可燃气体的管路宜采用纯氮吹扫 特种气体供应设施安装 观察检查 2 纯化设备 为避免返工和正确进行接管 2 本条对纯度试验的介质 在洁净厂房内进行这些设备的运输 12.2.4 特种气体供应设施安装前 由于这类管道输送的气体介质大部分对气体中的杂质含量都有严格要求 附件等的材质应符合工程设计文件的要求 4 但由于国内氦气价格较贵 高纯气体 管路系统应采用0.3MPa～0.5MPa的无油干燥压缩空气或纯氮进行吹扫 按系统全数检查 气密性试验和泄漏量试验及试验压力均应按工程设计文件要求执行 安装位置应按工程设计文件 12.2.6 不得倒置 应保持10min 特气柜的搬运 其中对泄漏量试验气体作了三种可能的选择 压力 必要时应进行相应试验验收 宜与输送介质的设计压力相同 测试气体的检测取样口或排气接口 按系统全数检查 2 当测试气体进 取样时间的间隔宜为4h 应选用纯氮或氦气 气体样品应采用与输送介质纯度及允许杂质含量相应的精度等级的仪器进行分析 检验方法 系统应以设计压力保持24h 搬送 采用氦气为试验气体时 检查泄漏率不超过0.5％为合格 1 然后降压至气密性试验压力 12.2 应按具体工程项目的洁净施工程序要求 密封性 主控项目 12.2.3 12.2.5 就位时 试验气体压力按规定逐步升至系统强度试验压力后 测试气体的压力 管路吹扫应符合下列规定 3 就位前应认真熟悉设备图纸 观察检查 如可燃性气体 仪表和附件的完整性 分系统全数检查 特种气体设施的纯度试验是此类设施安装施工质量验收的最重要的环节 特种气体设施施工安装试运转的纯度测试应符合下列规定 即干燥压缩空气 检验方法 检查数量 观察检查 特种气体供应设施安装 一般项目 12.2.1 压力 化学性质各不相同 并应做检查记录 特种气体供应设施的强度试验 12.2.3 4 12.2.6 管道及阀门等附件的配置状况安全运输 检查数量 这些设备交货前一般进行了规定的试验和填装纯化材料 应按气体品种 气体管道接口应在分系统的气体输送管道安装试运转合格后再连接 按气体品种 就位 一般项目 应检查箱体及箱内阀门 检验方法 就位应符合下列规定 分系统全数检查 气体管道接口应在所在系统试运转合格后再连接 特种气体管路施工安装中的实际情况 12.2.4 这是国内外高纯气 符合要求后应从规定的设备搬入口运入 其安装施工应符合本规范第7.4节的规定 2 特气柜和阀门箱等 文件等 水痕量等杂质含量达到一致时 由于这些设备通常是接管 取样口 在管路系统吹扫气体排出口设靶检查 此项试验常常是在投入运行前进行 其中强调检查设备 高纯气体 3 阀门和管件的完整性 本条对管路吹扫方法 12.2.8 试验气体宜采用无油干燥压缩空气或纯氮气或纯氦气 接线较多 再进行泄漏量试验 检查数量 检查中一旦发现异常 直至合格为止 并应做好记录 尺量 搬入洁净室(区)前应进行清洁 检查数量 尺量 泄漏率的计算见本规范第7.8.4条的条文说明 并应可靠固定 12.2.2 接线方位的正确性 所以应根据气体特性分别进行选择 纯度测试过程 检查数量 吹扫气体应设置过滤精度严于0.3μm的气体过滤器去除微粒 并应检查接管 减少污染 检查设备及填充的纯化材料 气密性试验合格后 本条是对管路系统的试验方法 主控项目 应按工程设计文件和产品说明书的要求 据了解 管路系统的试验应符合下列规定 接线定位 3 管路系统的试验 检查数量 氦气 高纯气体 Ⅰ 水 就位后 阀门和管件的完整性 应设在供气系统中要求气体纯度及其杂质含量最严格且距离最长的用气设备处 高纯气体 高纯气体 观察检查 且管路系统不大 应与供应商进行协商 5 并应认真做好记录 检验方法 不应包含纯化设备 检查泄漏率不应超过0.5％为合格 特种气种类很多 若有条件 应检查原因并进行完善后 应以不漏为合格 做好接管 检查接口 设备就位时 4 仪表检查 焊缝 3 密封性和合格证书等 12.2.5 本条对高纯气体 工作参数分系统分别进行吹扫 防止差错的发生 12.2.7 Ⅰ 应以排出口吹扫气体中含氧量小于1％为合格