吊顶和活动地板开洞施工作出了有关规定 2 表面应平整 外露表面应平整 13.2.2 13.2.3 洁净室(区)内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定 洁净区使用机具应符合下列规定 大型 设备就位安装应符合下列规定 应设安全护栏并设危险标识 应在设备搬入后再恢复到原有状态 出厂日期 应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒 宜采用搬运车或气垫搬运装置 气闸室至洁净室(区)的搬运应符合下列规定 应达到无油 13.2.5 生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定 应以洁净 洁净室地面为活动地板时 2 用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分 牢固 在自流坪地面安装设备时 设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作 密封组件与壁板的连接应紧密 其中净化空调系统已连续正常运行是十分重要的条件 这些规定应在安装过程中认真执行 钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作 以备核查 一般要求净化空调系统连续正常运行48h后才开始安装生产工艺设备 并应做好记录 无锈 设备特殊基础应符合下列规定 直至吸尽孔内积存的尘粒 机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施 设备安装 由于洁净度要求十分严格 13.2.6 2 4 13.2.7 墙板 本条对生产设备安装施工用辅助材料作出了有关规定 并应采用不产尘的材料 1 1 13.2.1 且现场应有便捷电源供应 设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行 2 应按设计要求在净化空调系统安装前就位 生产设备从搬入平台经搬入口 应予认真执行 在活动地板上吊装设备时 光滑 经手持电锯切割后的钢结构应予加固 其承载能力不应低于原承载能力 搬运时应控制其行进速度不得大于1m／s 沿搬运路线的门框 13.2.8 光滑 防止或减少对洁净生产环境的污染 应对活动地板进行加固 3 工作间一侧的密封面应平整 并不得破坏内包装 地面 洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h 3 1 2 在活动地板上搬运设备时 在生产工艺设备搬运 但对不同产品生产用洁净厂房有不同的要求 13.2.9 活动地板 当搬运重量超过活动地板的承载能力时 洁净布清除内包装外表面的尘粒 拆除包装应符合下列规定 洁净室(包括风淋室)应已启用 以防止交叉污染或增加清洁 13.2.1 为使洁净室(区)进行生产工艺设备的安装做到有序和无尘或少尘作业 对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时 生产设备安装后 3 这两条对洁净室(区)内的特殊基础的施工和在洁净室(区)内的墙板 如电子工业洁净厂房 除尘 洁净室(区)使用的机具不得搬至非洁净室(区)使用 包括正常运行产品生产过程)对产品有害的分子污染成分 13.2.4 1 特殊要求的生产设备 安装基础所需拆除的活动地板 如无要求时可用不锈钢板或塑料板 3 13.2 应予认真执行 13.2.5 开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板 13.2.3 以备核查 储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书 设备安装 13.2.9 以保护相关的地面 墙角等处应设保护措施 1 2 应核对活动地板的允许荷载 为使洁净室(区)内生产工艺设备的安装工程做到无尘或少尘作业 设备就位安装需开孔时 2 并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程 1 当允许荷载不能满足起吊荷重时 常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理 1 设备的内包装应在气闸室前拆除 在生产设备安装中所使用的材料应不散发(长期 并应经检查合格贴上“洁净”或“洁净区专用”标识后搬入 13.2.6～13.2.8 应为无尘 照明系统应已正常工作 非洁净室(区)使用的机具不得搬至洁净室(区)使用 为防止在拆除生产设备外包装 13.2 活动地板开口后不能及时安装基础时 并应做到设备与密封组件为柔性接触 应有地面保护措施 无尘 洁净室(区)内搬运生产工艺设备 无垢 并做好记录 本条作出了生产工艺设备安装施工条件的有关规定 条文对拟搬入洁净室(区)的生产工艺设备拆除包装和搬运设备的搬入 本条对洁净室(区)内的生产工艺设备的就位安装作出了有关规定 并能按洁净厂房内洁净生产管理制度进行安装工作 吊顶和活动地板开洞应符合下列规定 以备核查 可按本规范附录A进行 本条规定洁净室(区)使用的机具不得搬至非洁净室(区)使用 4 薄膜等材料保护洁净室(区)的建筑装饰表面 无尘的板材 13.2.2 无锈的要求 并做好记录 13.2.4 2 应根据现场实际情况采取加固措施 品种 搬运通道以及搬运机具作出了有关规定 应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板 可保护性拆除门或洁净室隔断 制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理 1 消毒灭菌的工作量 非洁净室(区)使用机具不得搬至洁净室(区)使用 无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料 3 基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上 吊顶板表面 洞口四周间隙应进行密封处理 安装生产工艺设备前 安装过程保护好已“空态”验收的各项“成品” 光滑 拆除前应先用吸尘器 内包装过程和表面不清洁等对洁净室(区)带来的污染以及在生产设备搬运过程可能对已经过“空态”验收的洁净室(区)带来不良影响或损坏洁净室(区)的墙体 5