为了保持洁净室(区)的环境 2 1 1 12.2.1 试验气体为纯氮或无油干燥压缩空气时 特种气体设施施工安装试运转的纯度测试应符合下列规定 其中强调检查设备 特种气体供应设施安装 就位应符合下列规定 管道及阀门等附件的配置状况安全运输 高纯气体 12.2.2 化学性质各不相同 高纯气体 但由于国内氦气价格较贵 气体管道接口应在分系统的气体输送管道安装试运转合格后再连接 分系统全数检查 4 在管路系统吹扫气体排出口设靶检查 12.2.3 12.2.8 若有条件 不得倒置 纯度测试过程 特种气体供应设施安装 高纯气体 搬送 应以不漏为合格 介质和吹扫合格标准的质量验收要求作出了规定 管路系统应采用0.3MPa～0.5MPa的无油干燥压缩空气或纯氮进行吹扫 系统应以设计压力保持1h 仪表检查 这些设备交货前一般进行了规定的试验和填装纯化材料 因此就位后不得进行气体接管 搬入洁净室(区)前应进行清洁 管路系统的试运转应包括管路吹扫 由于这类管道输送的气体介质大部分对气体中的杂质含量都有严格要求 在洁净厂房内进行这些设备的运输 泄漏率的计算见本规范第7.8.4条的条文说明 检验方法 一般应连续进行 尺量 出口的纯度及其氧痕量 本条对纯度试验的介质 12.2.2 接线方位的正确性 其安装施工应符合本规范第7.4节的规定 产品说明书要求进行 介质和合格标准等的规定 如可燃性气体 12.2.4 检验方法 密封性 不应包含纯化设备 因为高纯气 这是国内外高纯气 本条对高纯气体 本条对阀门箱 密封性和合格证书等 检查数量 不合格时 接线 工作参数分系统分别进行吹扫 12.2.7 但氦气检漏效果最好 且管路系统不大 特种气体管路施工安装中的实际情况 高纯气体 取样时间和合格标准等作出了规定 氦气 检查数量 观察检查 检查接口 纯度测试介质 搬入口要求等进行运输 应以靶上未见微粒为合格 特种气体供应设施的强度试验 观察检查 1 进行泄漏量试验 气体管道接口应在所在系统试运转合格后再连接 并应做检查记录 仪表和附件的完整性 检查中一旦发现异常 12.2 观察检查 是确保此类设施正常 特气柜和阀门箱等 压力 按气体品种 取样时间的间隔宜为4h 水痕量等杂质含量达到一致时 高纯气体 阀门和管件的完整性 检查数量 就位前应认真熟悉设备图纸 4 其中对泄漏量试验气体作了三种可能的选择 试验气体压力按规定逐步升至系统强度试验压力后 防止差错的发生 管路系统的试验应符合下列规定 符合要求后应从规定的设备搬入口运入 附件等的材质应符合工程设计文件的要求 尺量 12.2.6 然后降压至气密性试验压力 检验方法 2 特种气体设施的纯度试验是此类设施安装施工质量验收的最重要的环节 管路吹扫应符合下列规定 泄漏性试验和纯度测试 2 检查设备及填充的纯化材料 3 试验气体宜采用无油干燥压缩空气或纯氮气或纯氦气 12.2.3 焊缝 就位后 接线较多 应按具体工程项目的洁净施工程序要求 必要时应进行相应试验验收 高纯气体 3 减少污染 测试气体的压力 5 观察检查 再进行泄漏量试验 12.2.4 分系统全数检查 整体设备搬运时 1 应与供应商进行协商 纯化设备 高纯气体 直至合格为止 物理 仪表检查 管路系统的试验 文件等 检查泄漏率不超过0.5％为合格 1 一般项目 按系统全数检查 高纯气体 此项试验工作可能时间较长 12.2.1 对输送可燃气体的管路宜采用纯氮吹扫 3 吹扫盘的安装和管路连接的质量验收主控项目内容作出了规定 宜与输送介质的设计压力相同 3 Ⅰ 特气柜的搬运 应按工程设计文件和产品说明书要求 本条是对管路系统的试验方法 系统应以设计压力保持24h 分系统全数检查 Ⅱ Ⅰ 做好接管 据了解 按气体品种 气密性试验和泄漏量试验及试验压力均应按工程设计文件要求执行 气密性试验合格后 应认为纯度测试合格 安装位置应按工程设计文件 Ⅱ 电接口应按工程设计文件要求连接 取样口 压力 12.2 应设在供气系统中要求气体纯度及其杂质含量最严格且距离最长的用气设备处 水 就位 管径较小时采用氦气也是一种很好的选择 接线定位 检验方法 即干燥压缩空气 2 当测试气体进 阀门和管件的完整性 应检查箱体及箱内阀门 4 稳定 观察检查 12.2.7 特种气体供应设施安装前 由于这些设备通常是接管 纯氮 检验方法 气体样品应采用与输送介质纯度及允许杂质含量相应的精度等级的仪器进行分析 测试气体的检测取样口或排气接口 就位时 密封性 仪器检查 对输送可燃气体的管路系统 并应做好记录 设备就位时 5 检验方法 应按设备的构造 按系统全数检查 检查数量 这是十分重要的环节 12.2.5 吹扫盘的安装应符合下列规定 应在管道系统按规定试验合格后才能接管 检查泄漏率不应超过0.5％为合格 特种气体管道及其阀门 应按气体品种 按系统全数检查 所以条文规定在试运转阶段应进行纯度试验 吹扫气体应设置过滤精度严于0.3μm的气体过滤器去除微粒 应以排出口吹扫气体中含氧量小于1％为合格 检查数量 本条对管路吹扫方法 主控项目 12.2.8 并应检查接管 此项试验常常是在投入运行前进行 特种气体供应设施安装前应具备的条件作出了规定 并应认真做好记录 为避免返工和正确进行接管 安全运行的保障条件 特种气种类很多 气密性 12.2.5 检查数量 按气体品种 宜采用工作气体进行 主控项目 应检查原因并进行完善后 应选用纯氮或氦气 12.2.6 2 所以应根据气体特性分别进行选择 应按工程设计文件和产品说明书的要求 并应可靠固定 尺量 特种气体系统的阀门箱 采用低碳不锈钢管时 应保持10min 3 一般项目 采用氦气为试验气体时 所以采用纯氮的较多