洁净厂房施工及质量验收规范[附条文说明] GB 51110-2015

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大粒子的测试对洁净室(区)内粒径大于5μm的大粒子的测试大粒子的测试宜采用过滤法 C.13.2 C.13 可在三种占用状态中的任一种状态下进行测试 C.13.1 采样流量可按本规范第C.1节的要求进行粒子计数器计数法等进行测量其采样点