本节适用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室(区)或非洁净室(区)通过吊顶 应添加气溶胶提高浓度 并应做记录 C.8.1 应大于洁净室(区)内的浓度10 测量被评价表面的洁净室(区)外部的空气中悬浮粒子浓度 窗渗漏入洁净室(区) 3 测量洁净室(区)内侧被评价表面的空气中悬浮粒子浓度 隔墙等表面或门 仪器应距离洁净室(区)内待测试的接缝密封处或啮合面5cm～10cm 其空气中悬浮粒子浓度不符合要求时 在光度计0.1％档的设定值时 扫描速度应为5cm／s 4 应在距离洁净室(区)内敞开的门0.3m～3.0m处检测空气中悬浮粒子浓度 6 C.8.3 光度计的读数超过0.01％即确认存在渗漏 C.8.2 的倍数 并应至少大于或等于3.5×10 对敞开的门廊处的测试 适用于1级至5级的洁净室(区)进行测试 采用光度计法 粒子计数器扫描时 采用粒子计数器法时 C.8 密闭性测试 ／m 可采用光度计法和粒子计数器法进行测试