配管 术语 乙硼烷 2.1 碱 纯水 2.0.5 语 化学品等的管路系统的管子 确定孔洞 漏光检测 法兰及其连接处进行透光检查 化学品 用以输送 氯气等具有可燃 有毒 对指定的一批配管的全部环向对接焊缝所做的全圆周射线检验和对纵焊缝所做的全长度射线检验 在某一静压下通过风管 2.0.8 风管系统中 附件及其接口 industrial gas 2.0.6 cheek 分配工艺用水 examination 2.0.2 给出规定粒径粒子的最大允许浓度 special with 阀门和其他组成件的组装总成 接缝 漏风量 法兰 leakage 2.0.4 指电子产品生产过程中使用的硅烷 用每立方米空气中的粒子数量表示 leak 砷烷 2.0.1 洁净厂房 对用于产品生产的洁净室与相关受控环境以及为其服务的动力公用设施的总称 ratio 垫片 classification 2.0.7 在单位时间内泄漏或渗入的空气体积量 chemical air air 缝隙等渗漏部位及数量的方法 洁净室(区)内悬浮粒子洁净度的水平 piping 洁净度等级 附件 2 各类气体 radiographic 四氯化硅 2.0.3 腐蚀或窒息等特性的气体 cleanroom 采用强光源对风管的咬口 螺栓连接件 术 lighting 磷烷 洁净厂房中 特种气体 射线照相检验 指产品生产过程中使用的酸 管件 system 有机溶剂 有机物质和氧化物等 缩略语