一般是在洁净室(区)空态验收合格后进行安装 13.1.1 无尘 但不应包括生产工艺设备自身的施工安装和验收要求 本章适用于与洁净厂房施工验收相关的生产工艺设备安装和验收 所以本条规定洁净厂房中生产工艺设备除大型设备外 只包括与洁净厂房施工验收相关的要求 13.1.3 13.1 倾斜 设备的搬运 这类设备常常需在洁净室的围护结构施工前进行安装 一般规定 50467 13.1 安装过程中对已进行空态验收的洁净室(区)带来污染甚至损坏 13.1.1 一般规定 有关生产工艺设备的安装验收应执行相关的标准规范 不包括生产设备自身安装验收方面的规定 洁净厂房中生产工艺设备除大型设备外 由于在许多行业的洁净厂房中都不可避免地有大型或特殊结构的生产工艺设备 13.1.2 安装过程不得有超范围的振动 本条明确本章涉及生产设备安装的内容 13.1.3 13 生产设备安装 设备搬入洁净室(区)前应清洁 不得划伤及污染设备表面 宜在洁净室(区)空态验收合格后进行安装 为了防止在生产工艺设备的搬运 13 13.1.2 如现行国家标准《微电子生产设备安装工程施工及验收规范》GB 作了本条的规定 生产设备安装