直接观察出气流的方向和因干扰引起的波动 应确保洁净室 可采用去离子水 气流目测宜采用示踪线法 气流流向的测试宜采用示踪线法 采用发烟(雾)法时 利用二维空气流速度矢量提供量化的气流特性 标在记录的送风平面的气流流型图上 可采用棉线 薄膜带等轻质纤维放置在测试杆的末端 发烟(雾)法和采用图像处理技术等方法 然后 发烟(雾)法和三维法测量气流速度等方法 4 可根据按本规范第D.7.1条得到的粒子图像数据 应进行多点测试 采用图像处理技术进行气流目测时 采用四氯化钛(TiCl D.7.3 采用三维法测量气流速度 每台高效空气过滤器至少应对应一个观察点 根据建设方要求需进行洁净室(区)的气流方向的均匀分布测试时 )作示踪粒子时 室内设备以及操作人员不受四氯化钛产生的酸伤害 D.7.2 D.7.1 气流流型的检测宜采用气流目测和气流流向的方法 D.7.5 采用示踪线法时 气流流型的检测 或装在气流中细丝格栅上 D.7 D.7.4 采用热风速计或3维超声波风速仪时 检测点应选择在关键工作区及其工作面高度 用固态二氧化碳(干冰)或超声波雾化器等生成直径为0.5μm～50μm的水雾