D.6.7 可按室温波动范围及区域温差的测定规定执行 洁净室(区)的温 区域温度应以各测点中最低(或最高的)的一次测试温度为基准 D.6.3 恒温工作区具有代表性的地点(如沿着工艺设备周围布置或等距离布置) 电阻温度检测装置 数字式温湿度计 温度测试可采用玻璃温度计 1 分别统计小于等于某一温差的测点数占测点总数的百分比 室内空气温度和相对湿度的检测 D.6.4 D.6.6 应判定为合格 分别布置在离地不同高度的几个平面上 整理成温差累积统计曲线 没有恒温要求的洁净室中心 电容式湿度计 应进行室温波动范围的检测 D.6.5 测点应布置在距外墙表面大于0.5m 温 送回风口处 表D.6.6 气流均匀性测试完成 有恒温恒湿要求的洁净室(房间) 离地面0.8m的同一高度上 并应测定并计算室内各测点的记录温度与控制点温度的差值 湿度测试可采用通风干湿球温度计 应根据温度和相对湿度允许波动范围 湿度测试 2 湿度测点数 也可以根据恒温区的大小 每次测定时间隔不应大于30min 采用相应适用精度的仪表进行测定 湿度测试和功能温 D.6 D.6.1 并应在系统连续运行24h以上时进行 D.6.8 90％以上测点所达到的偏差值应为区域温差 整理成偏差累计统计曲线 温 当90％以上测点偏差值在室温波动范围内 3 室内测点布置应符合下列原则 湿度测点数应符合表D.6.6的规定 D.6.2 4 湿度测试可分为一般温 相对湿度波动范围及区域相对湿度差的测定 D.6.9 毛发式湿度计等 并应计算各测点平均温度与上述基准的偏差值 温度和相对湿度测试应在洁净室(区)净化空调系统通过调试 数字式温度计等 分别统计小于或等于某一温差的测点数占测点总数的百分比