直接测量过滤器面风速时 2 )10倍的平方根数 应由建设方 单向流洁净室(区)的总送风量应按下式计算 其数值不应大于0.25 测点距离过滤器出风面应为150mm 风量和风速的检测 当洁净室内安装好工艺设备和工作台后 式中 最小值和平均值 D.1 测量时风罩的开口应全部罩住被测风口 叶轮风速仪 应按下式计算 距离高效空气过滤器出风面300mm处 测点应取在每个栅格的中心 2 可利用该流量计直接测量该处的风口风量 0 辅助风管应采用镀锌钢板或其他不产尘材料制成 全部测点不应少于5点 洁净室(区)工程测试 单向流洁净室系统的系统总风量 其测试平面应为垂直于送风气流 测点应取在每个栅格的中心 D.1.2 文丘里流量计 测试面应划分为面积相等边长不大于600mm×600mm的格栅 长度不应小于2倍风口长边长的直管段 4 A——每个栅格的面积(m 三维或等效三维超声风速仪 每一风速测点持续测试的有效时间不应少于10s 2 2 不应有泄漏 测试方共同协商确定 ——每个栅格的平均风速(m／s) 形状及内截面应与风口相同 单向流洁净室气流风速分布的测试 其测试的实施要求 风速分布测试应取工作面高度为测试平面 测试平面应分成若干面积相等的栅格 风量检测仪器可采用带流量计的风量罩 且已有预留测孔或可以设置测点时 D.1.3 1 v——各测点风速的平均值 若还需进行风速分布测试时 单向流洁净室室内风速的测试 并应连接于风口外部 并应记录最大值 当风口上风侧有2倍风管长边长度的直管段 栅格数量不应少于被测试截面面积(m 应在辅助风管出口求取的风口截面平均风速和风量 D.1.1 平面上划分的栅格数量不应少于测试截面面积(m 测点应取在每个栅格的中心 风量宜采用风管法测试 式中 室内截面平均风速和风口风量的测试应符合下列规定 V 3 1 ) 风口的上风侧已安装有文丘里或孔板流量装置时 s——标准差 )10倍的平方根数 2 并应按附录E.2的规定执行 合格判断规定等应根据工程项目的具体情况由建设方 安装有高效过滤器风口风量的测试 风速分布的不均匀度β 应根据风口形状采用加接辅助风管的方法 洁净室系统风口风量的检测应符合下列规定 并应按附录E.2的规定执行 CP 附录D 风速检测仪器宜采用热风速仪 测试方共同协商确定 且宜在空态下进行 孔板流量计等 常规风口的送风量宜采用带有流量计的风罩仪进行直接测量