文丘里流量计 孔板流量计等 风量检测仪器可采用带流量计的风量罩 D.1.1 测点应取在每个栅格的中心 V 式中 )10倍的平方根数 最小值和平均值 2 2 合格判断规定等应根据工程项目的具体情况由建设方 应由建设方 测试方共同协商确定 形状及内截面应与风口相同 v——各测点风速的平均值 测点应取在每个栅格的中心 并应记录最大值 栅格数量不应少于被测试截面面积(m )10倍的平方根数 每一风速测点持续测试的有效时间不应少于10s 附录D 辅助风管应采用镀锌钢板或其他不产尘材料制成 式中 D.1 单向流洁净室气流风速分布的测试 CP 平面上划分的栅格数量不应少于测试截面面积(m 应在辅助风管出口求取的风口截面平均风速和风量 单向流洁净室系统的系统总风量 s——标准差 安装有高效过滤器风口风量的测试 测试平面应分成若干面积相等的栅格 并应按附录E.2的规定执行 常规风口的送风量宜采用带有流量计的风罩仪进行直接测量 测量时风罩的开口应全部罩住被测风口 可利用该流量计直接测量该处的风口风量 ——每个栅格的平均风速(m／s) 测点应取在每个栅格的中心 长度不应小于2倍风口长边长的直管段 风量宜采用风管法测试 测点距离过滤器出风面应为150mm 且宜在空态下进行 若还需进行风速分布测试时 0 风速检测仪器宜采用热风速仪 叶轮风速仪 单向流洁净室(区)的总送风量应按下式计算 洁净室系统风口风量的检测应符合下列规定 应根据风口形状采用加接辅助风管的方法 距离高效空气过滤器出风面300mm处 其数值不应大于0.25 3 不应有泄漏 4 且已有预留测孔或可以设置测点时 A——每个栅格的面积(m 并应按附录E.2的规定执行 直接测量过滤器面风速时 1 风速分布测试应取工作面高度为测试平面 并应连接于风口外部 2 应按下式计算 D.1.3 ) 风口的上风侧已安装有文丘里或孔板流量装置时 风量和风速的检测 2 其测试的实施要求 风速分布的不均匀度β 测试方共同协商确定 1 当洁净室内安装好工艺设备和工作台后 洁净室(区)工程测试 单向流洁净室室内风速的测试 2 当风口上风侧有2倍风管长边长度的直管段 三维或等效三维超声风速仪 全部测点不应少于5点 D.1.2 其测试平面应为垂直于送风气流 测试面应划分为面积相等边长不大于600mm×600mm的格栅 室内截面平均风速和风口风量的测试应符合下列规定