动作准确性的影响则可忽略 1966年制定的美国联邦标准《洁净室环境控制要求》209a和1974年修订的209b规定 洁净室的噪声标准一般均严于保护健康的标准 对健康的影响不太大 4．4．3 在某些情况下 工人感到高烦恼的百分率将达到39％ 对语言通讯的干扰则属于较高的等级 使光刻间的室内环境噪声平均下降了7dB(A)～9dB(A) 文中说 因此 洁净室的噪声频谱限制应采用倍频程声压级 为此本次修订改为推荐性条文 我国的洁净室环境技术有了一定的发展 工人感到高烦恼的百分率低于30％ 在《洁净室及相关受控环境——第四部分 室内噪声得到有效控制 由于壁板的隔声量存在着某些薄弱环节而造成隔声不理想 2 但数据差额较大 设计时应选用低噪声设备 宜设置专用隔声或消声设施 并宜使其各部分隔声量相接近 也就是说 对工作速度和动作准确性影响仍不显著 排风系统噪声对洁净室影响极大 近年来 本条为强制性条文 并采取了降噪措施 国内关于噪声对健康影响的研究表明 但在实施中各单位认为规定过严 并使人员保持在舒适和安全的范围内” 4．4 若以70dB(A)为噪声允许值标准 则有75％超过标准 空态噪声频谱的限制值不宜大于表4．4．2中的规定 由图1可见 测得其室内平均噪声值为70dB(A) 单向流 噪声不易衰减 从主观评价调查看 从平面和空间设计到各类设备 从1996-1997年对国内部分行业的部分洁净室进行的调研结果来看 绝大多数标准给出的允许值在65dB(A)～70dB(A)范围 经过加设衬垫处理后噪声降到66.2dB(A) 亦可采用隔声罩隔绝噪声 对于辐射噪声值超过洁净室允许值的设备 空态噪声频谱的限制值 可操作性也不强 洁净室的密封性能较好 医疗行业则更低 又防止了风速过大而产生附加噪声 其室内噪声平均值达69dB(A) 5－工作速度高影响率 上海某公司使用的也是进口壁板光刻间 对于集中精神感到有较高影响的百分率为12.4％ 清洗等多种工序都需设排风系统 国内外有关资料提出了一些有效的措施 由此可见 相差近10dB(A) 洁净室的围护结构应有良好的隔声性能 洁净室内噪声有明显降低 则应从噪声传播途径上采取降噪措施 噪声条件主要在于保障正常操作运行 4．4 第4．4．3条～第4．4．6条的规定均为洁净厂房设计中 根据室内容许噪声级要求 要注意选用低噪声风机等 就应考虑采用消声器” 回风口的支风管风速宜为4m/s～6m/s 不少洁净室将机械泵一类高噪声设备置于洁净室外套间或技术夹道内 若以65dB(A)作为洁净室噪声允许值标准 如按这一限值来衡量现有洁净室的噪声 有些由于与生产联系密切 由于系统设计合理 洁净室的静态噪声主要来源于净化空调系统和局部净化设备运行噪声 平均为54dB(A) 我国59个洁净厂房平均噪声级的分布 由于洁净室内的工作环境要求比较安静 则多数可以满足标准 4．4．4 现行的大多数标准均以A声压级作为评价指标 2－电子工业216个洁净室超过某一声级的百分率 按规定限制风管风速 语言通讯干扰可以属于轻微的等级 且室内的噪声仍过高 扩散 还应该采用弹性减振基础” 降低了风机压头和转速 “洁净室的噪声控制在可能进行必要的通话 4．4．1 以确保达到洁净厂房要求的噪声控制值 由于噪声控制要求是确保人员健康的重要条件 满足必要的谈话联系 6－集中精神高影响率 其他一些洁净室的生产环境的噪声也偏高 洁净厂房排风系统的噪声治理日益受到重视 净化空调系统风管内风速宜符合下列规定 静态噪声的大小与洁净室气流流型 原规范中将第4．4．3条 低于80dB(A)的一般工业噪声 而大多数标准对不同的空气洁净度等级洁净室提出了一个统一的容许值 也有少数标准对各频带声压级提出了限制 但对噪声的控制技术还相对滞后 语言通讯干扰和对工作效率的影响 关于降低洁净室净化空调系统噪声的措施 但关键在于净化空调系统的布置及合理的降噪措施 在生产过程中 外延 噪声控制 在洁净室的环境下 “管道消声器在中频和高频范围内降低噪声是有效的 以集成电路生产为例 关于风管的连接 目前国内的相当一部分洁净室的隔墙使用的是进口或国产的金属壁板 从噪声的效应来看 洁净室噪声标准的制订主要考虑噪声的烦恼效应 满足操作或产品的要求 近年来 隔振等控制措施 从收集的国内外洁净室噪声标准来看 有送 系统及其附属设备等的选择都应充分考虑噪声控制措施 洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品 混合流洁净室不应大于65dB(A) 关于消声器的使用 如把高噪声工艺设备迁出洁净室或隔离布置于隔声间内 电子工业216个洁净室的噪声分布状况和不同声级下各种效应的主观评价指标如图1所示 第4．4．4条规定为强制性条文 应采取隔声 总风管风速宜为6m/s～10m/s 4．4．1 国外洁净室噪声标准的研究工作开始于20世纪60年代 国内现有洁净厂房中 噪声控制 “应依据洁净室内人的舒适和安全要求及环境（如其他设备）的背景声压级来选择适宜的声压级 洁净室内的空态噪声级 提供舒适的工作环境 也有47％的洁净室超过标准 腐蚀 1 文中又说 不同气流流型的静态噪声有较大差异 既减小了净化空调系统的阻力 由于技术或经济上的原因而难以做到时 当风管敷设长度在50ft以内时 设计 还有相当一部分的洁净室噪声在65dB(A)以上 非单向流洁净室的静态噪声实测值在41dB(A)～64dB(A)范围内 4．4．2 减弱了风机的噪声 1－59个洁净厂房超过某一声级的百分率 应采用柔性连接管隔开” 混合流洁净室的静态噪声实测值在51dB(A)～75dB(A)范围内 洁净厂房噪声分布与评价图 只要对风道系统采取消声和防止管道固体传声等措施 就电子工业而言 平均为65dB(A) 控制设备噪声首先要从声源上考虑 非单向流洁净室比单向流洁净室的静态噪声平均值约低11dB(A) 还要求“将通风机外壳 洁净室的噪声一般不算高 而对工作速度 少数标准按不同的空气洁净度等级分别给出了噪声容许值 无送 标准低于65dB(A)为好 如上海某公司使用的是进口壁板 有以下几个特点 单向流 对国内几个行业不同气流流型洁净室的静态和动态噪声所进行的分析表明 如《现代洁净室概念》一文中强调“选择那种能满足气流要求的噪声最低的风机 国内还有不少洁净室 图1 4．4．6 不合理的设计方案必然导致较高的静态噪声 如按70dB(A)的限值来衡量现有洁净厂房的噪声 3 还有约35％的洁净室超过标准 洁净室的声压级范围为40～65dB(A)” “通风机和送风管道与回风管道之间 换气次数等因素有关 除事故排风外 必须置于洁净区内的高噪声设备 根据“洁净厂房噪声评价与标准的研究”所得到的成果 净化空调系统噪声超过允许值时 就电子工业而言 7－交谈及电话通讯高干扰率 同样由图1得知 洁净室噪声可以大幅度降低 回风口的支风管风速宜为2m/s～5m/s 洁净厂房的平面和空间设计应考虑噪声控制要求 如北京某大学微电子研究所回风管道在未处理前噪声高达83.5dB(A) 施工和启动》ISO 静压箱和管道等加上衬里” 对集中精神感到有较高影响的百分率不到10％ 洁净室内的排风系统应进行减噪设计 4－准确性高影响率 4．4．5 表4．4．2 3－高烦恼率 14644-4-2001标准中规定 非单向流洁净室不应大于60dB(A) 4．4．3～4．4．6 消声 如上所述