并应满足生产工艺的要求和使用特点 由于所输送的物料品种多样 在满足不同的生产工艺要求的前提下 8．2．4 - 当露点低于－40℃时 阀门的严密性好坏是影响气体纯度的重要因素之一 生产工艺严格或危险性大的气体 易吹除的特点 其他气体管道宜采用球阀 温度 滞留在管道表面 价格相差甚远 证明是可以满足此类压缩空气的输送要求的 因为表面光亮水分不易被吸附 芯片直径8" 阀门是隔膜阀Cajon 阀门为进口球阀 1 因为它具有化学稳定性好 1 8．2 浓度等）也是不同的 316L是低碳不锈钢管 需要达到10 - 氩气体管道采用进口SS316L内壁电抛光处理（通称EP管） 氮氢混合气 阀门为进口球阀 可以采用0Cr18Ni9不锈钢管(304)或热镀锌无缝钢管 因此需要相应高质量的输送管道和阀门 对于干燥压缩空气露点低于－40℃ 内壁电抛光处理要比未经处理的价格高出1.6倍～2.1倍 当气体纯度大于或等于99.99％ 气体纯度要求99.999％ 阀门宜采用波纹管阀或球阀 氮气 露点低于－60℃时 而是可以采用机械抛光 内壁光亮抛光（通称BA管） 露点－70℃ 这在国内已有多年运行经验 采用国内合资企业进行电抛光处理 又如深圳某公司集成电路后工序 氮 波纹管阀和球阀 氧 隔膜阀除严密性好外 而且极易被吹除干燥 双卡套连接 为此 8．2．2 采用管材为SS304钢 应采用内壁光亮抛光的不锈钢管 本条规定按生产工艺和对气体纯度的要求选用合适的不锈钢管材和阀门 管道材料和阀门 国内合资企业进行内壁光亮抛光处理 国内多数洁净厂房和某些引进或合资项目的高纯气体管道阀门基本上都是采用不锈钢材质 输送的气体质量能满足生产工艺的要求 工业管道材料和阀门应根据所输送物料的物化性质和使用工况选用 还具有阀体死体积小 如上海某集成电路厂前工序(0.35μm)技术 8．2．1 阀门采用波纹管阀双卡套连接 深圳某公司集成电路后工序干燥压缩空气露点要求－70℃ - 氢 除可燃气体管道宜采用波纹管阀外 具体工程中各种物料的使用工况（压力 经技术经济比较选择合适的材质 阀门材质宜与相连接的管道材质相适应 因此管道材料 10 对输送低露点的气体是十分必要的 根据对国内洁净厂房使用情况的调查 8．2．3 阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀 它们的物化性质不同 8．2 波纹管阀比球阀严密性好 8．2．1 应采用不锈钢管内壁经抛光处理 高纯气体管道和阀门的选用应符合生产工艺的要求 双卡套连接 9 如对气体中的杂质和露点要求极为严格 并应符合下列规定 并非规定要进行电抛光 应采用内壁电抛光的低碳不锈钢管或内壁光亮抛光的不锈钢管 当气体纯度大于或等于99.999％ 露点低于－76℃时 这样才能做到既满足生产工艺要求 影响气体纯度并导致产品成品率下降 要求高纯气体中杂质含量均要小于10×10 氧气管道均采用SS304不锈钢管 阀门类型有隔膜阀 SS304钢相当于国内钢牌号为0Cr18Ni9 工业管道的材料和阀门的选用 级 大多数工厂高纯气体管道是采用不锈钢管 如集成电路生产中所需的高纯气体 化学抛光俗称光亮抛光 本条规定干燥压缩空气露点低于－70℃时 渗透性小 当干燥压缩空气露点低于－70℃时 所以本条规定工业管道的材料和阀门应根据所输送物料的物化性质和使用工况 8．2．3 其使用原因是防止钢材中碳组分的析出及吸附或释放杂质气体 因此适用于气体纯度要求极高 如某工程拟引进316L材质的不锈钢管 宜采用不锈钢管或热镀锌无缝钢管 管道材料和阀门 又经济合理 应采用内壁光亮抛光的不锈钢管 但不同材质或同一材质管道内壁处理方法不同 2 如上海某工程集成电路厂干燥压缩空气露点要求－73℃ VCR密封连接形式 甚至0.05μm的粒子 尘埃粒径要求控制小于0.1μm 经技术经济比较后确定 吸附性差等特性 9 8．2．2 特种气体等都有特殊的和严格的要求 内壁处理和阀门形式的选用要根据具体的生产工艺区别对待 2