为避免散热和结露应对此类管道进行绝热保温 2 但由于非金属管道对气体和水的渗透性和吸附性都比金属管道差 8．3 设计工况（压力 尤其对高纯气体不造成污染 8．3 一般应根据管内流过的物料性质 连接方式多样 为避免在洁净室（区）内因物料泄漏影响洁净生产环境 管道连接应采用焊接 以对接焊或承接焊连接 金属垫这种密封形式（国外称Cajon 表10 利用焊件本身溶化填满焊缝 而且易老化变形 8．3．1 2 所以推荐使用 由于洁净厂房中的工业管道可能有热管道或冷管道 不同管道材料渗透性 具体选择要随产品生产工艺对高纯气体质量的要求和本身特性决定 8．3．4 有少数单位采用焊接 温度等）进行选用 它是氩弧焊接时不施加不锈钢焊丝 吸附性比较 连接方便 热镀锌钢管应采用螺纹连接 为此本条规定镀锌钢管采用螺纹连接 管道连接 高纯气体管道与阀门连接的密封材料应按生产工艺和气体特性的要求确定 优点是软管连接管道柔软 8．3．4 管道与管道 宜采用金属外壳保护 极易造成气体渗漏影响气体质量 高纯气体管道宜采用内壁无斑痕的对接焊 不锈钢管承插焊连接的好处是便于管道对中 容易生锈 虽价格较贵 管道连接 管道与设备的连接应符合设备的连接要求 1 设计工况选择 通常用于高纯氢气或氦氢混合气系统以及要求气体杂质十分严格的生产工艺 缺点是由于管道与承插件之间有间隙 并应平整 VCR形式）严密性好 8．3．3 长度随意 为此规定采用对接焊并要求内壁无焊缝 而干燥压缩空气管道则是采用双卡套形式 气体不渗漏和污染 吸附能力见表10 密封性能较好 对高纯气体要求高和严格的生产工艺会影响其产品质量 使用寿命长 光洁 由于施工较麻烦且严密性比焊接要难以保证 由于四氟乙烯材质具有较广泛的适应性 规格全 宜采用金属垫或双卡套 故增加本条对保温材料及外表面进行规定 8．3．2 保温层外表面应采用不产生尘粒 8．3．2 本条规定高纯气体管道与阀门连接的密封材料采用金属垫或双卡套 8．3．3 不锈钢管应采用氩弧焊 方便焊接 工业管道与阀门的法兰或螺纹连接处的密封材料 工业管道的连接应符合下列规定 主要是能确保管道连接的严密性 镀锌钢管一般是螺纹连接 不同材料的管道对气体和水的渗透 如集成电路亚微米技术的前工序的各种气体管道 产生死角 吹扫时不易吹除干净 焊接时出现有刺激性的异味对人体有害 它带来的问题是破坏了管道原有的镀锌层 宜采用聚四氟乙烯等 但综合比较是合适的 微生物的材料 为此本次修订时推荐宜采用金属软管 管道与阀门连接的密封材料应符合下列规定 工业管道的连接目前基本均采用焊接 1 8．3．1 螺纹或法兰连接处的密封材料应根据输送物料性质 当采用软管连接时宜采用金属软管 现在金属软管品种多 而且管道内壁有脱落的镀层给吹扫带来困难并污染气体 以往有些单位采用非金属软管两端加卡箍固定 冷管道保温后的外表面温度不应低于环境的露点温度 湿度确定保温形式和构造 洁净室（区）内的工业管道应根据管子表面温度和环境温度