6 洁净的生产环境是生产工艺的需要 应根据空气洁净度等级的不同要求 净化空调系统设计对维护管理的要求应符合本规范附录C的规定 运行班次或使用时间不同 长寿命所必需的 不同生产工序对环境洁净度的不同要求 以局部 大规模和超大规模集成电路的发展很快 因此 6．1 由于洁净室（区）的温度 不需将全部洁净室都设计为1级或2级 4 保证供给洁净室（区）内每人每小时的新鲜空气量不小于40m 1 只有在生产工艺无要求时 2 人是洁净室内主要的发尘源 夏季为50％～70％ 相对湿度首先应按生产工艺要求确定 吸尘口应加盖封堵 尽量缩小高洁净度等级部分的面积 对于生产1GB超大规模集成电路前工序的洁净室来说 6．1．5 而其他大部分工序只要求5级 又能大幅度地降低初投资和运行费用 洁净室的温 为此本次修订改为推荐性条文 湿度冬季为30％～50％ 由于新鲜空气量是确保洁净室（区）作业人员健康的重要条件之一 3 湿度控制要求差别大 在洁净室生产工艺对环境的温 为了保证作业人员的工作环境 洁净室内的吸尘系统管道应暗敷 例如 洁净室内的温度主要是为了作业人员的舒适 但在本规范实施中因洁净厂房生产的产品多种多样 6．1．4 在1980年时其集成度只有64kB 确定洁净室的空气洁净度等级时应根据不同工艺 6．1．6 光刻等）对环境的洁净度等级要求最高为1级或2级 所以强制执行有困难 表6．1．4 作业人员多少和工作条件也不相同 洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级应满足生产工艺对生产环境的洁净要求 对温 6．1．2 空气净化 提高劳动生产率 6级 生产工艺中某工序散发的物质或气体对其他工序的产品质量有影响 相对湿度和洁净度的要求也越来越高 是确保产品的成品率和产品质量的可靠性 夏季为24℃～26℃ 因此 湿度范围应符合表6．1．4的规定 6 甚至只有7级 1 例如 随着我国国民经济的发展 6．1 洁净室内的新鲜空气量应取下列两项中的最大值 6．1．5 本条为强制性条文 现行国家标准《采暖通风与空气调节设计规范》GB 空气净化 6．1．4 一般规定 净化空调系统与一般空调系统 比较适宜 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和 而到目前集成度已提高到1GB 下列情况之一者 各行各业对生产环境的温度 6．1．1 既能确保不同生产工艺对环境的要求 所以本次修订中对洁净室（区）的新鲜空气量规定为应取补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和 两项中的最大值 不同的生产工序对生产环境的要求也是不相同的 该高则高 选用不同的气流流型 洁净室温度冬季为20℃～22℃ 6．1．7 6．1．3 作业人员进入洁净室必须穿着与洁净室的空气洁净度等级相适应的洁净工作服 其净化空调系统宜分开设置 3 高等级净化和全室较低等级净化的洁净室系统代替全室高等级净化的洁净室系统 64kB集成电路前工序生产所要求生产环境的洁净度等级只有4级和5级 湿度范围 但空气洁净度等级为1级～5级的单向流洁净室宜设置集中式真空吸尘系统 2 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m 3 洁净室的温 才能按本条的规定根据作业人员的舒适度确定 湿度没有特殊要求时 该低则低 50019中对一般工业厂房的新鲜空气量的规定为每人每小时不小于30m 不同的生产工艺 由于洁净工作服的透气性较差 3 一般规定 洁净区的清扫宜采用移动式高效真空吸尘器 在整个生产过程中只有少数工序（制版 而1GB集成电路前工序生产对生产环境洁净度等级的要求提高到1级和2级(0.1μm) 不同工序对环境的洁净度要求而定 根据不同生产工艺 6．1．1