风量或风速测试应符合下列规定 4 使用采样量大于1L/min的光学粒子计数器 50929中对洁净室（区）的各项检测方法均有明确的要求和规定 0.01μm)” 14644-4等 最少采样点数应按下式计算 式中 ——最少采样点 第3部分 静压差测试应符合下列规定 2 A．3 国内制定的国家标准《洁净厂房施工及质量验收规范》GB 14644-1的检测和监测技术条件》ISO N 所以本节参照相关国内外的标准对洁净室测试方法进行了相应的修改 洁净室主要测试方法 空气洁净度分级》ISO 20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时 仪器应有有效的标定合格证书 对超出等级范围粒子的检测应符合下列规定 ——每个采样点的每次采样量 3 14644-1 洁净室测试方法 ＝A 在过滤器上风侧应引入测试用气溶胶 A．3．4 2 并应在所有的门关闭时检测 0.5 可按等级粒径范围之外的粒子浓度规定空气洁净度的水平 密闭性测试应用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室（区）或非洁净室（区）通过吊顶 V 000个/m ) 2 可独立应用M描述符说明大于5μm的粒子浓度 仪表灵敏度应小于1.0Pa 50243规定的方法执行 S 2 A．3．5 2 A——洁净室或被控洁净区的面积(m 14644-2 y为以微米计的粒径 对于非单向流洁净室 隔墙等表面或门 10μm～20μm) 垂直气流处的截面作为采样截面 测点数不应少于4点 其中χ为超微粒子的最大允许浓度(pc/m 例如 3 所有读数的算术平均值作为平均风速 应采用符合这类粒子具体特性的采样装置和方法 也可将它作为悬浮粒子空气洁净度等级的补充说明 在过滤器下风侧用光度计或粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面2cm～3cm处 可按现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 检漏方法有光度计法和粒子计数器法 y)”表示 M描述符用“M（a 风量和送风均匀性检测合格后进行 并位于工作活动的高度 1 窗渗漏入洁净室（区） 《洁净室及相关受控环境 已安装过滤器检漏测试应符合下列规定 000 N 则用M描述符表示为“M(1000 国际标准组织(ISO)的ISO/TC209技术委员会相继制定了“洁净室及相关受控环境”的系列标准 当需评价大于5μm的粒子造成的污染危险时 3 补充 L 检测方法》ISO m ) 测点位于高效过滤器出风面约150mm～300mm 3 n 采用光度计法和粒子计数器法进行测试 3 c”表示 当洁净室或洁净区仅有一个采样点时 2 ) L b） 在产品生产工艺有要求时 A．3．3 应表示为“U(140 也可将它作为悬浮粒子空气洁净度等级的补充说明 很大时 一般适用于1级至5级的洁净室（区）进行测试 式中 U描述符用“U(χ 每个采样点的最小采样时间为1min 第4部分 采用风口或风管法确定送风量 · 静压差的测定应在洁净室（区）的风速 在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力 仪器宜采用各种微差压力计 A．3．1 测量得到10μm～20μm粒径范围的悬浮粒子浓度为1000个/m 近年来 则在该点应至少采样3次 截面上测点间距不宜大于0.6m 5 此类粒子的最大允许浓度和检测方法应由客户与建造商协商确定 与本规范有关的有《洁净室及相关受控环境 1 S 1 C 例如 第1部分 粒子浓度适用范围和计数效率 14644-3 应采用符合这类粒子具体特性的采样方法和装置 3 采样量应按下式计算 活动高度宜距地面0.8m 可独立应用U描述符说明超微粒子浓度 可使用顺序采样法 《洁净室及相关受控环境 1 粒径范围等于或大于0.01μm的最大允许超微粒子的浓度为140 当V 多级撞击采样器以显微镜测定粒径并计数” 证明持续符合ISO 并应注意安装交接处的扫描 1 c为规定的测量方法 采用显微镜对多级撞击采样器采集的粒子进行检测 每一采样点的每次采样量应至少为2L 采用室截面平均风速和截面乘积的方法确定送风量 对于单向流洁净室 以5mm/s～15mm/s的扫描速度移动 设计 可测到的粒子颗数(pc) 其中a为大粒子的最大允许浓度(pc/m ) 采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内 以L表示 A．3 (A．3．5-1) 第2部分 洁净度的检测应符合下列规定 3 ——被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值(pc/m 当需评价小于0.1μm的粒子造成的污染危险时 施工和启动》ISO 《洁净室及相关受控环境 A．3．2 b为与规定的大粒子测量方法相应的当量直径(μm) A．3．6