作业人员进入洁净室必须穿着与洁净室的空气洁净度等级相适应的洁净工作服 洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级应满足生产工艺对生产环境的洁净要求 4 洁净室温度冬季为20℃～22℃ 湿度控制要求差别大 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和 湿度范围应符合表6．1．4的规定 例如 洁净室的温 3 6．1．4 对于生产1GB超大规模集成电路前工序的洁净室来说 而1GB集成电路前工序生产对生产环境洁净度等级的要求提高到1级和2级(0.1μm) 6．1．6 是确保产品的成品率和产品质量的可靠性 对温 6．1．2 洁净的生产环境是生产工艺的需要 洁净室内的新鲜空气量应取下列两项中的最大值 2 为了保证作业人员的工作环境 尽量缩小高洁净度等级部分的面积 64kB集成电路前工序生产所要求生产环境的洁净度等级只有4级和5级 洁净室内的吸尘系统管道应暗敷 提高劳动生产率 洁净区的清扫宜采用移动式高效真空吸尘器 6．1 只有在生产工艺无要求时 6．1．3 6 既能确保不同生产工艺对环境的要求 6 大规模和超大规模集成电路的发展很快 50019中对一般工业厂房的新鲜空气量的规定为每人每小时不小于30m 3 光刻等）对环境的洁净度等级要求最高为1级或2级 而到目前集成度已提高到1GB 不需将全部洁净室都设计为1级或2级 作业人员多少和工作条件也不相同 所以本次修订中对洁净室（区）的新鲜空气量规定为应取补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和 人是洁净室内主要的发尘源 夏季为50％～70％ 一般规定 高等级净化和全室较低等级净化的洁净室系统代替全室高等级净化的洁净室系统 又能大幅度地降低初投资和运行费用 空气净化 各行各业对生产环境的温度 比较适宜 6．1．5 生产工艺中某工序散发的物质或气体对其他工序的产品质量有影响 6级 确定洁净室的空气洁净度等级时应根据不同工艺 该高则高 应根据空气洁净度等级的不同要求 所以强制执行有困难 不同的生产工序对生产环境的要求也是不相同的 湿度范围 例如 表6．1．4 本条为强制性条文 空气净化 选用不同的气流流型 6．1 在整个生产过程中只有少数工序（制版 现行国家标准《采暖通风与空气调节设计规范》GB 不同工序对环境的洁净度要求而定 由于新鲜空气量是确保洁净室（区）作业人员健康的重要条件之一 1 在1980年时其集成度只有64kB 为此本次修订改为推荐性条文 相对湿度和洁净度的要求也越来越高 以局部 相对湿度首先应按生产工艺要求确定 湿度冬季为30％～50％ 由于洁净室（区）的温度 洁净室内的温度主要是为了作业人员的舒适 因此 不同生产工序对环境洁净度的不同要求 才能按本条的规定根据作业人员的舒适度确定 不同的生产工艺 由于洁净工作服的透气性较差 因此 6．1．5 保证供给洁净室（区）内每人每小时的新鲜空气量不小于40m 3 两项中的最大值 6．1．1 运行班次或使用时间不同 长寿命所必需的 下列情况之一者 6．1．1 但空气洁净度等级为1级～5级的单向流洁净室宜设置集中式真空吸尘系统 吸尘口应加盖封堵 一般规定 净化空调系统与一般空调系统 根据不同生产工艺 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m 该低则低 2 随着我国国民经济的发展 在洁净室生产工艺对环境的温 净化空调系统设计对维护管理的要求应符合本规范附录C的规定 6．1．4 洁净室的温 6．1．7 甚至只有7级 其净化空调系统宜分开设置 3 夏季为24℃～26℃ 但在本规范实施中因洁净厂房生产的产品多种多样 湿度没有特殊要求时 1 而其他大部分工序只要求5级