高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处 死角和不易清扫的部位 下技术夹层或技术夹道内 8．1．5 为保持洁净室的空气洁净度和室内正压规定 据调查 管道系统应设必需的吹除口 有的仅为“象征性”措施 并应有防雨 温度 应将这些控制装置 而且对气体中含尘量也有相应严格的要求 是便于检查焊缝的焊接质量 (2) 气体过滤器的选择和配置应符合生产工艺对气体洁净度的要求 可燃气体管道 一般规定 目前洁净厂房内的工业管道干管 8 工业管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝 支干管和接至产品生产设备的支管均采取明敷的方式 在与洁净厂房毗连布置时 (3) 支干管均基本敷设在上 50016的规定 1 气体终端净化装置宜设在邻近用气点处 为进行物料的化验 8．1．5 4款的规定 为安全可靠运行和方便管理 液体输送和真空管道等 选择相应的气体净化装置 工业管道 必须采取可靠的浓度检测报警 有毒物质泄漏至技术夹层 液体入口室或分配室的设置应符合下列规定 为此将本条改为推荐性条文 高精度终端气体过滤器是设在靠近用气设备的支管上 氢气等）和氧气管道系统发生事故或气体纯度不符合要求时 2 除给排水管道外的工业管道还包括各类气体输送 第4款为强制性条文 以防止由于风向的影响使排放的气体倒灌回室内 以确保各系统的安全 因此各类工业管道系统应尽量短 本条规定工业管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝 美观的要求 8．1．2 密封材料常用硅橡胶等填堵 过滤器 应按输送介质的物化性质 《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 多孔钢玉管 即包括这类物质输送管道的干管 8．1 50058的规定进行爆炸危险环境的设防 有毒物质的输送管道大多采取明敷的方式 放散管引至室外应高出屋脊1m 有的采用装饰不锈钢套管 为此各工业管道系统应设必需的吹除口 8．1．7 这种方式既可满足洁净室（区）生产工艺的需要 规定气体终端净化装置宜设在邻近用气点处以缩短高纯气体管道的长度 原规范规定的“管道及管架宜设装饰面板” 为此本次修订取消了此规定 可能有可燃气体 维护 为此作了第3 据了解 整齐光滑 洁净室（区）工业管道的敷设应符合下列规定 易爆 易爆 氧气管道的末端或最高点均应设置放散管 放净口 在实施中形式多样 通风措施 并延长其使用寿命 并使管道系统易于吹除 其滤材采用超细玻璃棉高效滤纸 此时在技术夹层 50316的有关规定 故对净化装置的设置应根据气源和生产工艺对气体纯度的要求 使停止使用时的物料残留尽量少 1 管道系统应尽量短 所以在管道末端或最高点应设放散管 特种半导体器件 封装 进入洁净厂房的气体 可燃气体（包括城镇燃气 又有利于各类管道的安装 氮气在扩散过程中作为运载气时 有毒物质管道应明敷 相应的管道系统还应设置取样口 各种物料在输送过程中应尽量减少污染 2 并自动连锁开启事故排风机 当易燃 洁净室（区）内工业管道不应穿越无关的房间 对于甲 也有的工程在采取必要的安全保护措施后 预过滤器的滤材通常采用多孔陶瓷管 聚丙腈纤维等 以便容易发现这类物质在输送过程中可能发生的泄漏 生产类别为现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 易于清洁 50058的有关规定执行 8．1 在高温下氢中的微量氧和水汽易与硅作用生成二氧化硅而影响完整结晶生长 对气体纯度要求严格的生产工艺 气体报警装置发出声光信号 由于各类工业管道在投入使用前或检修前 粉末冶金管 洁净室（区）工业管道的设计应符合现行国家标准《工业金属管道设计规范》GB 技术夹道内应设置可靠的气体泄漏报警和机械排风措施 液体入口室或分配室内 8．1．3 易爆 一般规定 温度是依据产品生产工艺确定 以便将气体排入大气 8 液体管道种类根据生产工艺的不同确定 当毗连布置时 泄压设施和电气防爆应按现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016 如电子工业中电真空器件 甚至变成多晶 但管内物料流速应按其物化性质 管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施 因此规定了根据不同的生产工艺要求设置相应精度的气体终端过滤器 避免污染 液体管道如氢气 微孔泡沫塑料 这些气体吹除置换时不能排入室内 粉末金属材料等 50016规定的甲 半导体器件 纯度不同 设在洁净厂房边跨靠外墙的房间内 附件集中设置在气体 并规定应设在靠近用气点 放散管的排放口应高出屋脊1m 由于现有洁净厂房内 工业管道的管径通常应按输送物质的物化性质和具体工程中所输送物质的流量 后均应进行吹除 易爆 合理确定管内物料流速和管径 工业管道 如果含有氧和水汽易使硅片表面氧化 稳定运行 电气防爆应按现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 当超过规定的浓度限值时 气体终端净化装置应该是距离用气点越近越好 应有良好的通风 应避免出现不易吹除的盲管 有关专家指出 本条涉及可燃气体等管道系统的运行安全 由于“装饰面板”式样不明确 8．1．8 防杂物侵入的措施 为保证使用点气体纯度符合要求 有毒物质管道敷设在技术夹层或技术夹道内时 放净口和取样口 不能做统一的强制性规定 并不是所有的洁净室都采用明敷 8．1．8 1 8．1．3 一般各种管道上均设有总控制阀门 致使外延片的堆垛层错密度高 并应以耐火极限大于3.0h的隔墙与相邻房间分隔 技术夹道或特殊的管廊内 在满足生产工艺的条件下 气体净化装置的选择和配置应符合气源和生产工艺对气体纯度的要求 乙类火灾危险生产用气体 压力 (1) 不能达到洁净 其中流量 4 还应设置良好的通风措施 8．1．4 醋酸纤维素滤膜 状态合理确定 预过滤器是设在洁净厂房气体入口室的干管上 设置必要的泄压面积 美观的目的 维护 液体入口室或分配室内 调压装置 乙类气体 干管应敷设在上 下技术夹层 性能测试等工艺过程中各种高纯气中的杂质含量将直接影响产品的合格率 但往往受各种条件限制 在各种生产工艺过程中不仅对各种气体纯度要求十分严格 将这类物质的输送干管 从材料制备到器件制造 据调查了解 燃气等时 3 以减轻终端过滤器的负担 目前在洁净室（区）内的易燃 应设在单层厂房靠外墙或多层厂房的最上一层靠外墙处 流量计 分析或吹除效果的取样 4 易燃 难以实现 在洁净厂房内一般设置预过滤器和高精度终端气体过滤器 为此作为强制性条文规定 8．1．6 需吹除置换 避免“盲管”等不易吹除的死角 管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施 8．1．6 符合洁净室（区）布置和洁净 压力和流速确定 8．1．1 8．1．2 2 避免事故的发生 8．1．4 本条规定均涉及洁净厂房的安全稳定运行 高纯气体中含尘量比其纯度在一定意义上显得更为重要 微孔玻璃制品 天然气 为此条文规定采用“宜” 作为预过滤 集成电路等生产工艺 且不统一 并应按现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 如氢气用于硅外延时 洁净厂房内 本次修订的理由是 8．1．7 8．1．1 现有的这类洁净厂房大多均按此类要求进行布置 所以规定为强制性条文 应按本条第1款的规定实施 并应与相邻房间采用耐火极限大于3.0h的隔墙分隔 支干管敷设在技术夹层或技术夹道内 甚至不易清洁 在线分析仪等 排放达到预期洁净度或纯度要求 压力表 一旦此类管道发生易燃 鉴于各类工业管道输送的物料品种较多 3 及时排除可能泄漏的可燃气体等 所以将本章扩大更名为“工业管道” 工业管道设计应符合下列规定 3 有利于即时采取抢救措施 技术夹道后 但是由于各种原因