各类洁净厂房内包括洁净室空气洁净度 阻力逐渐增大 只有相当规模的洁净厂房宜设计成集散式计算机控制和管理系统 洁净厂房宜设置净化空调系统等的自动监控装置 打开十分困难 9．4 所以自动监控装置的功能应视工程具体情况确定 9．4．2 洁净厂房设置一套较完整的自动监控装置 但建设投资增加 高纯气体 9．4．3 调整很麻烦 9．4．1 宜设计成各种类型的监测 由于风阀上承受压力很大 并且各行各业的洁净室（区）的规模 气体纯度 自动控制 9．4 应设置无水保护装置 9．4．3 纯水水质的监测等的要求是不同的 为此本次修订将本条改为推荐性条文 控制系统 净化空调系统的电加热器应设置无风 本条强制性规定应设置无风 以增加风量 当采用空气过滤器前后压力差的变化控制送风机的变频调速装置后 系统启动时为使风机空载启动 净化空调系统的空气过滤器随运行时间的增加 风机启动后 9．4．1 自动控制 电加热器继续送电加热会造成设备损坏甚至发生火灾 送风量的调节变得十分容易 在空气调节系统调试中 洁净室净化空调系统宜选用变频调速控制的风机 为保持送风风量 送风压力稳定 当采用电加湿器时 面积也是不同的 首先将风机出口处风阀关闭 对确保洁净厂房的正常生产和提高运行管理水平十分有利 同时洁净室净化空调系统的送风机采用变频调速后节能十分显著 超温断电保护装置 纯水的监控 温度和湿度的监控 洁净室的压差监控 为避免净化空调系统因风机停转无风或超温时 9．4．2 超温断电等保护装置 经常手动调节系统中的风阀