2 第二 5 应采取防静电接地措施 引爆 以防发生严重灾害 介于三年以上和十年以下的为中效型 各种用途的洁净室(区)对防静电控制的要求是不同的 9.5.1 由于各种用途的洁净室对防静电控制的要求是不同的 9.5.3 Ω·cm~1.0×10 气体或粉体的管道 接地系统设计时 9.5.2 并应使用绝缘屏蔽电缆 而短效型能维持静电耗散性能在三年以内 洁净厂房工程设计中要十分重视防静电环境设计 在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0.1Ω 火灾危险场所引燃 气体或粉体管道应采取防静电接地措施 9.5 Ω 第一 洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施 其时间界限为十年以上 11 洁净厂房的室内环境中许多场合存在着静电危害 两者应保持20m以上的间距 强调执行现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 使其他功能接地系统都应包括在防雷接地系统的保护范围之内 将静电导除 体积电阻率和地面对地泄放电阻值 并应保持长时间性能稳定 选择分散接地方式时 地面的面层应采用静电耗散性的材料 其中直流接地系统不能与交流接地系统混接 所以条文不宜规定过严 Ω/□~1.0×10 50057的有关规定 因此 两条的内容进行简化 静电防护及接地 9.5.7 地面应设有导电泄放措施和接地构造 直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设 原条文的一些规定过细 9.5.5 设备和管道的连接安装要求更加严格 因此首先必须考虑防雷接地系统 必须以防雷接地系统设计为基础 涉及建造后的洁净厂房的安全运行 其性能应符合下列规定 这两条修改的理由是 其中有爆炸和火灾危险场所的设备 9.5 10694而制订的 由于在大多数情况下各种功能接地系统采用综合接地方式 洁净室内可能产生静电危害的设备 这些规定是参照现行行业标准《电子产品制造与应用系统防静电检测通用规范》SJ/T 当这些设备与管道处在爆炸和火灾危险环境中时 条文中的一些内容与相关的规范相同或相似 有一些洁净室(区)还没有防静电接地要求 1 9.5.6 第三 其表面电阻率应为1.0×10 并改为推荐性条文 或导致尘埃吸附影响环境洁净度 目前国内生产的防静电材料及制品有长效型 各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体 Ω·cm 长效型必须是长时间持久地保持静电耗散性能 其对地泄放电阻值应为1.0×10 管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 9 Ω/□或体积电阻率为1.0×10 流动液体 因此 9.5.2 洁净厂房一般为永久性建筑 5 目前在一些洁净厂房内的净化空调系统采取了防静电接地措施 洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则 9.5.4 本条为强制性条文 9.5.3 或导致人体遭受电击伤害 为此作为强制性条文 因此条文强制性规定防静电地面应选用具有长时间保持稳定静电耗散性能的材料 防静电地面材料采用具有导静电性能的材料是防静电环境设计的基本要求 电子仪器和电子设备损坏或性能下降 但也有一些洁净厂房内的净化空调系统未采用此项措施 在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环 12 所以本次修订改为推荐性条文 9.5.7 地面的面层应具有导电性能 9.5.6 防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子 接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω 工程实践表明 本条规定洁净厂房防雷接地系统的基本要求 静电防护及接地 Ω~1.0×10 9.5.4 为了解决好各个接地系统之间的相互关系 从而导致电子器件 50058的有关规定 本条第2款和第3款中规定了防静电地面的表面电阻率 洁净厂房内可能产生静电的生产设备(包括防静电安全工作台)和容易产生静电的流动液体 9.5.5 避免增加执行的难度 9.5.1 3 洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准《建筑物防雷设计规范》GB 洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施 短效型和中效型 洁净室(区)内的防静电地面 或导致爆炸 因此 4 50058的规定